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致力研发生产
高品质的狭缝涂布设备
Product Center
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溶液精密成膜应用领域
Application Area

狭缝涂布设备(SDC:Slot DieCoater)是平板显示、先进封装、薄膜太阳能电池、柔性电子等领域的核心工艺设备之一,拥有广泛的应用领域与巨大的市场需求。

更好的德沪
德沪技术世界领先
PRECISION SYSTEMS World leading technology

德沪涂膜聚焦精密溶液成膜狭缝涂布+真空干烤等设备及其核心零部件的设计、开发和制造,大尺寸狭缝涂膜装备及整线技术水平世界领先,是我国在精密溶液成膜设备领域的龙头企业,过去数年进行的激烈商业竞标中,多次击败全球头部日、德企业。

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通用高精密涂布设备
Coating Machine
SPR/nDeavor量产线

SPR/nDeavor系列高性能涂布机主要用于显示及浮法平板玻璃等电子产品的大批量生产中,SPS能提供涂膜均匀性好,材料消耗少,精度高且稳定性强的狭缝涂布系这种系统可适用于Gen2(370x470mm) 至 Gen10(2880x3130mm) 规格基片的加工,且可用于更大尺寸基片或者客户定制基片尺寸。SPR/nDeavor系统可配置自动化机器人,及基片装卸加工的在线传送机构。

通用高精密涂布设备
Coating Machine
SPL/nSpire 放大中试系列

SPL/nSpire系列涂布机主要用满足中试要求,在正式量产之前的中等规模生产线,兼具改进观察的试验作用,用于LCD、光伏、OLED、柔性显示及各种有机印刷电子产品的中试与小批量生产中,能提供涂膜均匀性好,材料消耗少,精度高且稳定性强的狭缝涂布系统。

SPL/nSpire系列亦可配置自动化机器人,及基片装卸加工的在线传送机构。

通用高精密涂布设备
Coating Machine
SRD/nRad研发系列

SRD/nRad系列为实验室用精密狭缝涂布设备。占地面积小,成本低,专门设计应用于产业化前期的研发。其中SRD系列除尺寸不同外,其机械和电气设计与量产设备相似。

钙钛矿晶硅叠层涂布设备
SRD300T-M10系列

SRD300T-M10系列狭缝挤出涂膜设备(Slot Die Coating Equipment)是德沪公司新一代研发型涂布设备,可应用于对晶硅基底-钙钛矿叠层电池进行膜层涂布。设备采用真空卡盘吸附基板,通过龙门运动、高精度供液泵与高精密涂头分配材料,可实现多种材料的精密涂膜。可以根据客户对于不同硅片尺寸以及不同组合进行定制,为客户提供灵活性和经济性的最佳组合。德沪高精密狭缝涂布设备整体涂膜均匀性好,用料少,速度快,广泛应用于平板显示、钙钛矿太阳能、半导体、柔性电子等领域的高精度涂膜研发。

半导体先进封装涂布设备
半导体先进封装

随着全球对于集成电路产品需求成指数级别增长,也给先进封装技术带来前所未有的机遇,其技术难度大,工艺要求高,是产业链中依仗的核心设备。特别是狭缝涂布设备,需完美兼容复杂材料和高精密控制工艺。 板级封装技术尤其擅长处理大尺寸、多功能系统集成的产品,典型产品成本相较晶圆级别下降20%以上。德沪在此领域研发多年,与业内顶尖企业密切合作,有难得的实际交付经验。 

核心零部件和子系统
涂头/风刀
核心零部件和子系统
运动平台
核心零部件和子系统
脱泡系统
核心零部件和子系统
供液泵
真空干燥&退火设备
Vacuum Drying And Annealing Equipment
真空干燥设备

真空干燥设备是德沪公司新一代实验室真空干燥设备,可应用于对各种基板进行真空干燥。设备采用干泵对真空箱抽气,通过各种阀组的配合,可实现多种材料的精密真空干燥。设备整体干燥均匀性好,速度快,稳定性高,广泛应用于太阳能、平板显示、柔性电子等领域的实验高精度涂膜干燥生产。

真空干燥&退火设备
Vacuum Drying And Annealing Equipment
退火设备

多层式热板是德沪公司新一代研发型退火设备,可应用于对各种基板湿膜的干燥或退火,广泛应用于太阳能、平板显示、柔性电子等领域。

自动化集成工程和服务
Automation Integration
自动化集成与控制系统

公司可开展涂布工序及整线自动化服务,整合上下游设备,实现产线的自动化运行。 

钙钛矿制造
整体解决方案
Automation Integration
整线设备包含
  • 热蒸发镀膜设备
    C60、BCP等
  • 磁控溅射
    NiO/ITO/Cu等
  • 激光划线
    P1/P2/P3
  • 激光清边
    P4
  • 狭缝涂布
    钙钛矿/钝化层
  • 原子层沉积
    Sno2
  • PL/EL/IV测试系统
  • 自动化系统
    (可选)
  • 清洗机
  • HP/CP
  • VCD
  • 层压机
适配器件结构
  • NIP结构
    例如:FTO/Sn02/钙钛矿/Spiro-OMeTAD/Ag
  • PIN结构
    例如:FTO/NiOx/钙钛矿/C60/BCP/Cu
适配工艺路线
  • 适配工艺路线
    全湿法工艺;干/湿混合法工艺
基板尺寸
  • 基板尺寸
    300x300mm,450x650mm,600x1200mm,1200x2400mm等
生产节拍
  • 生产节拍
    10min/片(手动);60s/片(全自动)
基板尺寸工艺包
  • 基板尺寸工艺包
    PCE≥16%
其他设备
Coating Machine

德沪钙钛矿产业化研究院,专注于钙钛矿整线设备自动化集成技术研发、配套设备及零部件制造、钙钛矿研究院平台三位一体全维度建设。