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产品参数
Product Parameters
项目 规格
腔体材质 不锈钢
抽气速度 大气压至20 Pa，时间根据客户要求定制
泵 国产或进口(根据客户要求)
破真空 N2或CDA
玻璃传送 手动或自动
观察视窗 配置
精密控制方式 皮拉尼计(pirani gauge)，自动蝶阀3-step开度控制+定制真空度达到停止或到达时间停止；可记录压力、时间曲线

 

 

项目 规格 项目 规格
真空抽气速率 根据客户要求定制 真空工艺控制 ≥5-Step 抽真空+Main抽真空Process+定制
温度范围 Max.120°C 真空破坏 N2 吹扫(MFC)+缓冲过滤Break Filter
温度均匀性 ±3℃ 真空泵 Kashiyama或同等级
加热器排布 腔体外部 Trap tank Trap法，含冷水凝缩和自动排放功能
腔体数量 单腔或双腔 内腔洁净度 优于class100
基板支持Pin 可移动式（磁力固定式）    

 

 

德沪涂膜设备（苏州）有限公司
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