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产品参数
Product Parameters
项目 规格
HP温度

加热器设定温度：Max.250°C

热风设定温度：Max.250°℃
基板表面温度均匀性 ±3℃（200°℃时测定）
温度测定方式 9点，距离玻璃边缘10mm
Proximity Pin高度 0.3mm
热板尺寸 G2.5~G10
热风 有热风注入
Lift-pin升降 伺服电机控制
Lift-pin材质

本体：不锈钢;

顶部：Polyamide-imide
腔体材质 不锈钢
腔体升降 气缸
HP腔体维护 翻转式上盖·带有抽拉式构造

 

 

项目 规格
CP温度 23±2℃
温度测定方式 9点，距离玻璃边缘10mm
冷板尺寸 G2.5~G10
冷却方式 吸附式冷却（冷却水客户提供）
Lift-pin升降 伺服电机控制
Lift-pin材质

本体：不锈钢；

顶部：Polyamide-imide
lonizer 配置
腔体材质 不锈钢
腔体升降 气缸
CP腔体维护 抽拉式构造

 

 

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