在高精密涂布和更广泛领域成为世界级头部企业。
有光就有钙钛矿,有钙钛矿就有德沪涂膜。
德沪5年前推出的晶硅钙钛矿叠层涂膜设备已经助能多个头部钙钛矿/晶硅叠层企业多次创造了晶硅/钙钛矿电池转化率世界纪录。
日前,从德沪研发及产品中心获悉,德沪新一代晶硅钙钛矿叠层涂膜三件套设备已通过严格的涂膜测试验证,成功问世。
德沪新一代叠层三件套设备具有下列功能和优点:
涂膜设备(SRD300T系列)。
适用于不同尺寸的晶硅wafer;专利保护的满涂设计,减少边缘不均匀区域;专利保护的Wafer全自动检测、调平机构,保证成膜一致性并避免背面污染;精密涂头、供液泵、气浮运动平台等完美配合,保证成膜质量和精度。
真空干燥设备(VCD,VCD300系列)。
专利保护的设计,防止闪蒸对膜面造成气流扰动;通过自动蝶阀控制程序,多段式控制腔体内部压力;实时显示腔内真空状态,并可显示及存储压力曲线。
退火设备(HP,HP300系列)。
多层加热腔体,可以同时加热多片wafer;每层加热腔上加热,下辅热,保证基板温度均匀性优于±3℃。
目前多家客户已在定制订购中。欢迎客户前来打样!